Norm
ASTM F 1367:1998
Titel (deutsch): Chromtargets für die Oberflächenzerstäubung bei Dünnschichtanwendungen
Titel (englisch): Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 1998, reapproved: 2011
Sprachen: Englisch


