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BS EN 62047-12:2011-11-30

Titel (deutsch): Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen

Produktabbildung - BS EN 62047-12:2011-11-30
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Titel (englisch): Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures

Dokumentart: Norm

Ausgabedatum: 2011-11-30

Sprachen: Englisch

 

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