Norm
BS EN 62047-3:2006-11-30
Titel (deutsch): Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Duennschicht-Standardmikroprobe fuer die Pruefung der Zugbeanspruchung
Titel (englisch): Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Thin film standard test piece for tensile testing
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 2006-11-30
Sprachen: Englisch
