Norm
BS ISO 17331+A1:2005-03-31
Titel (deutsch): Chemische Analytik an Oberflächen. Chemische Methoden für die Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumscheiben-Arbeits-Referenzmaterialien und deren Bestimmung mit Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)
Titel (englisch): Surface chemical analysis. Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 2005-03-31
Sprachen: Englisch
