Norm
DIN 50453-2:1990-10
Titel (deutsch): Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzrate von Ätzmischungen; Siliciumdioxid-Schichten; Optisches Verfahren
Titel (englisch): Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium-dioxid coating; optical method
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 1990-10
Sprachen: Deutsch
Dokument: zitiert
