Norm
DIN EN 62047-1:2006-10
Titel (deutsch): Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen (IEC 62047-1:2005); Deutsche Fassung EN 62047-1:2006
Titel (englisch): Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 2006-10
Sprachen: Deutsch
