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DIN EN 62047-3:2007-02

Titel (deutsch): Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006); Deutsche Fassung EN 62047-3:2006

Produktabbildung - DIN EN 62047-3:2007-02
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Titel (englisch): Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006

Dokumentart: Norm

Ausgabedatum: 2007-02

Sprachen: Deutsch

Dokument: zitiert

 

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