Norm
ISO/TR 16268:2009-10
Titel (deutsch): Chemische Oberflächenanalyse - Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials
Titel (englisch): Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 2009-10
Sprachen: Englisch
