Norm
SN EN 62047-1; IEC 62047-1:2005:2006:2006
Titel (deutsch): Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen (IEC 62047-1:2005)
Titel (englisch): Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005)
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 2006
Sprachen: Deutsch
