Norm
SN EN 62374-1; IEC 62374-1:2010:2010:2010
Titel (deutsch): Halbleiterbauelemente - Teil 1: Prüfung auf zeitabhängigen dielektrischen Durchbruch (TDDB) bei Isolationsschichten zwischen metallischen Leiterbahnen
Titel (englisch): Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers
Dokumentart: Norm
Ausgabedatum: 2010
Sprachen: Englisch
