Technische Regel, Entwurf
VDI/VDE 3717 Blatt 4:1997-02
Titel (deutsch): Maskentechnik - Strukturen
Titel (englisch): Mask engineering - Pattern
Dokumentart: Technische Regel, Entwurf
Ausgabedatum: 1997-02
Kurzreferat: Das Dokument beinhaltet die Anforderungen an die Strukturen einer Maske.
Sprachen: Deutsch, Englisch
