Technische Regel
ISO/TTA 4:2002-11
Titel (deutsch): Messung der Wärmeleitfähigkeit von dünnen Schichten auf Siliciumsubstraten
Titel (englisch): Measurement of thermal conductivity of thin films on silicon substrates
Dokumentart: Technische Regel
Ausgabedatum: 2002-11
Sprachen: Englisch
