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Technische Regel

PAS 1022:2004-02

Titel (deutsch): Referenzverfahren zur Bestimmung von optischen und dielektrischen Materialeigenschaften sowie der Schichtdicke dünner Schichten mittels Ellipsometrie

Produktabbildung - PAS 1022:2004-02
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Titel (englisch): Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry

Dokumentart: Technische Regel

Ausgabedatum: 2004-02

Sprachen: Deutsch, Englisch

 

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