VDI/VDE 2655 Blatt 1.2:2010-10

Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung

Englischer Titel: Optical measurement of microtopography - Calibration of confocal microscopes and depth setting standards for roughness measurement
Ausgabedatum: 2010-10
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 36

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Kurzreferat

Die Richtlinie beschreibt Verfahren zur Kalibrierung bildgebender konfokaler Mikroskope und Tiefeneinstellnormale für die Rauheitsmessung und bilden damit die Grundlage zur Rückführung von Messsystemen auf nationale Normale.Zunächst wird die Vergehensweise zur Ermittlung der Kalibrierfähigkeit beschrieben. Weiterhin werden Rahmenbedingung für die Kalibrierung sowie Mindestanforderungen an den Kalibriervorgang festgelegt. Schließlich werden noch die Anforderungen an den Ergebnisbericht festgelegt. Ein GUM-konformes Model für die Ermittlung der Messunsicherheit vervollständigt die Verfahrensanweisung.

Inhaltsverzeichnis

ICS

17.180.01, 37.020

Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt VDE/VDI 2604:1971-06; VDI/VDE 2604:1971-06 .

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