Technische Regel
VDI/VDE 3717 Blatt 1:1985-12
Titel (deutsch): Maskentechnik; Einführung, Begriffe und Definitionen
Titel (englisch): Mask engineering; introduction, terms and definitions
Dokumentart: Technische Regel
Ausgabedatum: 1985-12
Kurzreferat: Die Richtlinie soll dem Hersteller oder Anwender von Masken in knapper Form einen Überblick über die derzeitige Maskentechnik geben. Sie enthält darüber hinaus für die Praxis wichtige Hinweise auf Begriffe, Definitionen, Spezifikationen und Arbeitsmethoden.
Sprachen: Deutsch, Englisch
