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Titel (englisch): Mask engineering; masks for integrated optics

Dokumentart: Technische Regel

Ausgabedatum: 1993-03

Kurzreferat: Das Dokument soll durch seine Begriffsdefinitionen, die sich an DIN VDE 0888 anlehnen, und Spezifikationsvorschläge vor allem die Zusammenarbeit zwischen Herstellern und Anwendern von Masken für integriert optische Bauelemente und Schaltungen erleichtern.

Sprachen: Deutsch, Englisch