Download	Versand	Abo **
Sprache: Deutsch, Englisch	35,00 EUR	35,00 EUR	Artikel zum Abo auswählen
** Erfahren Sie  hier mehr zu Abonnements-Lösungen für Normen

Titel (englisch): Mask engineering - Pellicles

Dokumentart: Technische Regel

Ausgabedatum: 1999-03

Kurzreferat: Die Spezifikation beinhaltet die allgemeinen Anforderungen an Pellicles, wie sie zum Schutz von Photomasken verwendet werden. Sie entsprechen weitgehend den von SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute, Inc.) in den USA gemachten Standardsisierungsvorschlägen P5/86. Anwendungen für Bestrahlungen mit kurzwelligen UV-Licht (Wellenlänge <=360 nm) sind noch nicht berücksichtigt.

Sprachen: Deutsch, Englisch