VDI/VDE 2656 Blatt 1:2019-09

Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen

Englischer Titel: Determination of geometrical quantities by using of scanning probe microscopes - Calibration of measurement systems
Ausgabedatum: 2019-09
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 81

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Kurzreferat

Redaktionell überarbeitete Version der Ausgabe von 2008. Diese Richtlinie ist beschränkt auf Rastersondenmikroskope und deren Kalibrierung. Sie umfasst die Verifizierung der für die Messung geometrischer Maße notwendigen Geräteeigenschaften und die Kalibrierung der Bewegungsachsen (x, y, z), das heißt, die Rückführung auf die Längeneinheit über die Messung an rückgeführtenLateral- und Stufenhöhennormalen. Mit der Anwendung dieser Richtlinie werden folgende Ziele verfolgt: Bessere Vergleichbarkeit von Messungen geometrischer Größen mit Rastersondenmikroskopen durch die Rückführung auf die Längeneinheit; Festlegung von Mindestanforderungen an den Kalibriervorgang und an die Abnahmebedingungen; Feststellung der Kalibrierfähigkeit (Einteilung in Kategorien für Kalibrierfähigkeit); Festlegung des Gültigkeitsbereiches einer Kalibrierung (Messbedingungen und Umgebungen, Messbereiche, zeitliche Stabilität, Übertragbarkeit); Bereitstellung eines GUM-konformen Modells zur Messunsicherheitsberechnung für einfache Geometriegrößen bei Messung mit einem Rastersondenmikroskop; Festlegung der Anforderungen an ein Ergebnisprotokoll.

Inhaltsverzeichnis

ICS

17.040.01, 19.060

Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt VDI/VDE 2656 Blatt 1:2008-06 .

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