VDI/VDE 2655 Blatt 1.3:2020-02

Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Englischer Titel: Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement
Ausgabedatum: 2020-02
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 50

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Kurzreferat

Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.

Inhaltsverzeichnis

ICS

17.180.01

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