VDI 2083 Blatt 3:2020-02 - Entwurf

Reinraumtechnik - Messtechnik

Englischer Titel: Cleanroom technology - Metrology
Ausgabedatum: 2020-02
Originalsprachen: Deutsch
Seiten: 31

Ausgabedatum: 2020-02
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Kurzreferat

In dieser Richtlinie werden Messverfahren für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche beschrieben, die bei der Übergabe, im Rahmen der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt werden. Die hier beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet. Die Richtlinie gilt für erstmalige und einmalige Messungen sowie die fortlaufende oder periodische Überwachung. (Kontinuierliche Messungen zum Zweck des Monitorings werden in VDI 2083 Blatt 3.1 beschrieben.) Die spezifizierten Methoden sind für die Übergabe von reinraumtechnischen Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen und sollen, soweit möglich, anwenderspezifische Verfahren ersetzen.

Inhaltsverzeichnis

ICS

13.040.35

Ersatzvermerk

Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 3:2021-08 .

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