VDI 2083 Blatt 1.1:2020-06 - Entwurf

Reinraumtechnik - Partikelreinheitsklassen der Luft anhand nanopartikulärer Konzentration (ACnP)

Englischer Titel: Cleanroom technology - Particulate air cleanliness classes for nano-scaled particles (ACnP)
Ausgabedatum: 2020-06
Originalsprachen: Deutsch
Seiten: 7

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Originalsprachen: Deutsch
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Kurzreferat

Diese Richtlinie beschreibt die Messung und Klassifizierung der Luftreinheit in Bezug auf Nanopartikel mit Abmessungen von 5 nm bis < 100 nm ungeachtet von deren Herkunft. Nach dieser Richtlinie wird vorrangig nicht ein vollständiger Reinraum hinsichtlich der luftgetragenen Konzentration nanoskaliger Partikel klassifiziert, sondern lokale Konzentrationsverhältnisse an spezifisch festgelegten Punkten.

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ICS

13.040.35

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