VDI 2083 Blatt 16.2:2021-04

Reinraumtechnik - Barrieresysteme - Minienvironments

Englischer Titel: Cleanroom technology - Barrier systems - Mini environments
Ausgabedatum: 2021-04
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 30

Ausgabedatum: 2021-04
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
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Kurzreferat

Diese Richtlinie befasst sich mit allen Arten von Mini-Environments zur Abtrennung definierter reiner kontrollierter Umgebungen in technischen Bereichen. Diese Richtlinie gilt ausschließlich für gasförmige Medien wie Luft und Schutzgase innerhalb des Mini-Environments. Sie gilt nicht für Vakuumprozesse oder flüssige Prozessmedien. Sie befasst sich ausschließlich mit luftgetragenen Verunreinigungen, das heißt, es wird als Trägermedium in der Regel Luft (in Sonderfällen eine Sonderatmosphäre, z.B. Schutzgas) betrachtet. Das Durchwachsen von mikrobiologischen Kontaminanten durch Lecks oder Undichtigkeiten/Schwachstellen wird nicht betrachtet.

Inhaltsverzeichnis

ICS

13.040.35

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