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VDI/VDE 3717 Blatt 2:1987-06

Maskentechnik; Substrate

Englischer Titel
Mask engineering; substrates
Ausgabedatum
1987-06
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
8

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Kurzreferat
Die Spezifikation beinhaltet die allgemeinen Anforderungen an den Träger für Hartschicht-Fotomasken.
Inhaltsverzeichnis
ICS
29.045
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