VDI 2083 Blatt 3:2005-07

Reinraumtechnik - Messtechnik in der Reinraumluft

Englischer Titel: Cleanroom technology - Metrology and test methods
Ausgabedatum: 2005-07
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 40

Ausgabedatum: 2005-07
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Kurzreferat

Das Dokument gilt für Meßverfahren und Meßgeräte im Zusammenhang mit Abnahmemessungen und der Überwachung von in Betrieb befindlichen Reinraumtechnischen Anlagen. Für die Prüfung der einzelnen Elemente von Reinraumtechnischen Anlagen gelten gesonderte Normen und Richtlinien. Die hier beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet und unterscheiden sich insofern von Messverfahren für sonstige technische Systeme.

Inhaltsverzeichnis

ICS

13.040.35

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