Liebe Kundinnen, liebe Kunden,
Am Montag ist es soweit:
Aus Beuth Verlag wird DIN Media.
Mehr über unsere Umbenennung und die (Hinter)Gründe erfahren Sie hier.
Wir bitten um Verständnis dafür, dass wir am Sonntag daher kurzzeitig nicht erreichbar sein werden. Zudem können am Sonntag keine Bestellungen aufgegeben werden.
Ab Montag sind wir unter neuem Namen für Sie da!
Herzliche Grüße
Ihr Beuth Verlag
Montag bis Freitag von 08:00 bis 15:00 Uhr
Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]
Produktinformationen auf dieser Seite:
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Dieses Dokument gibt eine Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und zur Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probennahme und Probenvorbereitung, die für die Bestimmung von Verunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleitertechnologie eingesetzt werden. Es gilt für Bestimmungen von Elementspuren in den Bereichen von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozesschemikalien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Dokument wurde ersetzt durch DIN 50451-5:2022-08 .
Gegenüber DIN 50451-5:2010-03 werden folgende Änderungen vorgenommen: a) Aufnahme von "modifiziertem PTFE (M-PTFE)" als geeigneter Werkstoff in Abschnitt 5 "Kriterien für die Auswahl geeigneter Gerätewerkstoffe"; b) Fußnote "e - außer H<(tief)3>PO<(tief)4>" wurde aus Tabelle 1 entfernt; c) die Vorgehensweise in 6.2 "Reinigung der Probenahme- und Probenvorbereitungsgefäße" und 6.3 "Durchführung" wurde präzisiert; d) redaktionelle Überarbeitung.