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Norm-Entwurf

DIN 50989-3:2021-03 - Entwurf

Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch

Englischer Titel
Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model; Text in German and English
Erscheinungsdatum
2021-02-05
Ausgabedatum
2021-03
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
75

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Erscheinungsdatum
2021-02-05
Ausgabedatum
2021-03
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
75
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3232738
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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen bzw. dielektrischen Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k=0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme " des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis
ICS
19.100
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3232738

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