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Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50989-3:2021-03 - Entwurf
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
- Englischer Titel
- Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model; Text in German and English
- Erscheinungsdatum
- 2021-02-05
- Ausgabedatum
- 2021-03
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 75
- Erscheinungsdatum
- 2021-02-05
- Ausgabedatum
- 2021-03
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 75
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3232738
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Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen bzw. dielektrischen Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k=0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme " des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Dokument wurde ersetzt durch DIN 50989-3:2022-04 .