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Norm-Entwurf

DIN 50989-6:2023-03 - Entwurf

Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch

Englischer Titel
Ellipsometry - Part 6: Effective Materials model; Text in German and English
Erscheinungsdatum
2023-01-27
Ausgabedatum
2023-03
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
39

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Normen-Ticker 1
1

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Erscheinungsdatum
2023-01-27
Ausgabedatum
2023-03
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
39
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3406772

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke von Schichten effektiver Materialien sowie deren optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Effektive Materialien fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis
ICS
19.100
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3406772

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