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Norm 2011-11-30

BS EN 62047-12:2011-11-30

Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen

Englischer Titel
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
Ausgabedatum
2011-11-30
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Englisch

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