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Norm [AKTUELL]
DIN 50989-2:2021-04
Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial; Text Deutsch und Englisch
- Englischer Titel
- Ellipsometry - Part 2: Bulk material model; Text in German and English
- Ausgabedatum
- 2021-04
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 51
- Ausgabedatum
- 2021-04
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 51
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3231854
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Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der optischen bzw. dielektrischen Konstanten auf Basis des Modells Volumenmaterial fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Inhaltsverzeichnis
ICS
19.100
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3231854
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