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Norm [AKTUELL]

DIN 50989-3:2022-04

Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch

Englischer Titel
Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model; Text in German and English
Ausgabedatum
2022-04
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
77

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Normen-Ticker 1
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Ausgabedatum
2022-04
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
77
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3319666

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε<(index)1>) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis
ICS
19.100
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3319666

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