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Norm 2011-11

DIN EN 60204-33:2011-11;VDE 0113-33:2011-11

VDE 0113-33:2011-11

Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstungen von Maschinen - Teil 33: Anforderungen an Fertigungseinrichtungen für Halbleiter (IEC 60204-33:2009, modifiziert); Deutsche Fassung EN 60204-33:2011

Englischer Titel
Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC 60204-33:2009, modified); German version EN 60204-33:2011
Ausgabedatum
2011-11
Originalsprachen
Deutsch
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/1816957

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2011-11
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Deutsch
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/1816957

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Einführungsbeitrag

Dieser Teil der DIN EN 60204 (VDE 0113) gilt für die elektrische und elektronische Ausrüstung von Fertigungseinrichtungen für die Herstellung, Messung, Montage und Prüfung von Halbleitern. In dieser Norm beinhaltet der Ausdruck "elektrisch" die allgemeine Elektrotechnik, die Elektronik und die programmierbare Elektronik (das heißt elektrische Ausrüstung bedeutet elektrische, elektronische und programmierbare elektronische Ausrüstung). Im Zusammenhang mit dieser Norm ist mit dem Begriff "Person" jede Einzelperson gemeint, einschließlich solcher Personen, welche vom Betreiber oder seinem(n) Vertreter(n) für die Errichtung, Verwendung und Wartung der betreffenden Fertigungseinrichtung bestimmt und eingewiesen wurden. Die Ausrüstung entsprechend dieser Norm, beginnt an den Netzanschlussklemmen der elektrischen Ausrüstung der Maschine und schließt eine geeignete Anleitung für eine zuverlässige Errichtung ein. Die Anforderungen an die Errichtung der elektrischen Versorgung in Gebäuden sind in der Normenreihe DIN IEC 60364 (VDE 100) enthalten. Dieser Teil gilt für die elektrische Ausrüstung oder Teile der elektrischen Ausrüstung, die mit Nennspannungen bis 1 000 V Wechselspannung oder bis 1 500 V Gleichspannung und mit Nennfrequenzen bis einschließlich 200 Hz betrieben werden. Für höhere Spannungen und Frequenzen können besondere Anforderungen erforderlich sein. Für Spannungen, die innerhalb der elektrischen Ausrüstung erzeugt werden, gelten die Spannungsgrenzen dieser Norm. Eingeschlossen sind Anforderungen von Schutzmaßnahmen gegen Gefahren des elektrischen Schlags sowie elektrische Verriegelungen, die vor nicht-elektrischen Gefährdungen schützen. Es sind jedoch nicht alle Anforderungen berücksichtigt, die notwendig sind oder durch andere Normen oder Regelungen gefordert werden, um Personen vor nichtelektrischen Gefährdungen zu schützen (zum Beispiel chemische Gefährdungen, mechanische Gefährdungen, Gefährdungen durch Strahlung). Jede Maschinenart hat spezielle Anforderungen, die zu berücksichtigen sind, um für eine angemessene Sicherheit zu sorgen. Für elektrische Ausrüstungen von Fertigungseinrichtungen können zusätzliche und besondere Anforderungen gelten, die: - explosionsgefährdete Stoffe verwenden, verarbeiten oder herstellen; - in explosionsgefährdeter und/oder feuergefährdeter Atmosphäre verwendet werden; - besondere Risiken haben, wenn sie bestimmte Stoffe herstellen oder verwenden; - Hebezeuge sind (die in IEC 60204-32 behandelt werden). Diese Norm enthält keine Anforderungen an eine mögliche Auswirkung auf die Gesundheit von Personen die sich aus Emissionen (zum Beispiel EMF, Lärm) durch die Fertigungseinrichtung ergeben. Diese Norm enthält keine Anforderungen zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV). Zuständig ist das K 225 "Elektrotechnische Ausrüstung und Sicherheit von Maschinen und maschinellen Anlagen" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.

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