Wir sind telefonisch für Sie erreichbar!

Montag bis Donnerstag von 08:00 bis 17:00 Uhr

Freitag von 08:00 bis 16:00 Uhr

Kundenservice National
Telefon +49 30 2601-1331
Fax +49 30 2601-1260

Norm 2015-04

DIN EN 62047-21:2015-04

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014); Deutsche Fassung EN 62047-21:2014

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014
Ausgabedatum
2015-04
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch

Bitte Treffen Sie Ihre Auswahl

ab 89,00 EUR inkl. MwSt.

ab 74,79 EUR exkl. MwSt.

Kaufoptionen

PDF-Download
  • 89,00 EUR

Versand (3-5 Werktage)
  • 96,90 EUR

Abo 1
1

Erfahren Sie mehr zu Abonnements-Lösungen für Normen

Ausgabedatum
2015-04
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2286392

Schnelle Zustellung per Download oder Versand

Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung

Einführungsbeitrag

Dünnschicht-Werkstoffe werden als Hauptbestandteil von MEMS-Bauteilen und Mikromaschinen verwendet und können auf unterschiedlichen Trägern (Substraten) aufgebracht werden. Die Dünnschichtbestandteile Mikrosystemtechnischer Bauelemente werden meist mittels Dampfabscheidung oder mithilfe nichtmechanischer Verfahren, einschließlich der Fotolithografie, hergestellt. Ein wesentlicher charakteristischer Kennwert für derartige Dünnschichtwerkstoffe ist die Querkontraktionszahl (Poissonzahl), die bei diversen Prüfungen zu ermitteln ist. In diesem Teil der DIN EN 62047 ist ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) auf der Grundlage von Messwerten festgelegt, die erhalten werden, wenn einachsige (uniaxiale) und zweiachsige (biaxiale) Beanspruchungen auf Dünnschichtwerkstoffe der Mikrosystemtechnik mit Längen sowie Breiten kleiner 10 mm und Dicken kleiner als 10 µm ausgeübt werden. Das Dokument legt sowohl die Anforderungen an das zu bewertende Prüfstück und die Messeinrichtung wie auch für das Prüfverfahren selbst fest. Es werden zwei unterschiedliche Arten des Prüfstücks festgelegt, mit der die Querkontraktionszahl entweder über eine uniaxiale Zug-Prüfeinrichtung oder über eine Bulge-Prüfeinrichtung ermittelt werden kann. Für beide Arten der Ermittlung sind im Anhang der Norm Berechnungsbeispiele angegeben. Zuständig ist das DKE/K 631 "Halbleiterbauelemente" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE.

DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2286392
Lade Empfehlungen...
Lade Empfehlungen...