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Norm [ZURÜCKGEZOGEN] 2006-11 Artikel ist nicht bestellbar

DIN EN ISO 14644-8:2006-11

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 8: Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination (ISO 14644-8:2006); Deutsche Fassung EN ISO 14644-8:2006

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination (ISO 14644-8:2006); German version EN ISO 14644-8:2006
Ausgabedatum
2006-11
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch
Ausgabedatum
2006-11
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Originalsprachen
Deutsch

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Einführungsbeitrag

In der Norm wird die Klassifizierung von luftgetragener molekularer Kontamination in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen hinsichtlich der luftgetragenen Konzentrationen spezifischer chemischer Spezies (einzeln, gruppenweise oder als Kategorien) behandelt und ein Protokoll zur Verfügung gestellt, um Prüfverfahren, Analyse und Zeitgewichtungsfaktoren in die Festlegung zur Klassifikation einzuschließen. Betrachtet werden ausschließlich Konzentrationen von luftgetragener molekularer Kontamination im Bereich von 100 g/m3 und 10-12 g/m3 unter Reinraumbetriebsbedingungen.
Die Norm ist nicht anwendbar auf solche Industriezweige und Prozesse oder eine Produktion, bei denen oder bei der das Vorhandensein von luftgetragenen molekularen Spezies nicht als Risiko für das Produkt oder den Prozess betrachtet wird.
Es ist nicht Ziel dieser Norm, die Natur luftgetragener molekularer Kontaminanten zu beschreiben. Eine Klassifikation für molekulare Oberflächenkontamination ist nicht vorgegeben.

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