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Norm [NEU]

DIN EN ISO 14644-9:2022-10

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Bewertung der partikulären Oberflächenreinheit (ISO 14644-9:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2022

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration (ISO 14644-9:2022); German version EN ISO 14644-9:2022
Ausgabedatum
2022-10
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
39

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Ausgabedatum
2022-10
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
39
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3365426

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument beschreibt ein Verfahren für die Bewertung der partikulären Reinheitsgrade auf festen Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüf- und Messverfahren sowie Angaben zu Oberflächenkenngrößen sind in Anhang A bis Anhang D enthalten. Dieses Dokument ist anzuwenden für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie zum Beispiel Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Produkte. Das Verfahren für die Bewertung der partikulären Oberflächenreinheit (SCP, englisch: surface cleanliness by particle concentration) ist auf Partikel mit einer Größe zwischen 0,05 µm und 500 µm begrenzt. Die folgenden Punkte werden in diesem Dokument nicht behandelt: - Anforderungen an die Reinheit und Eignung von Oberflächen für bestimmte Prozesse; - Verfahrensweisen für die Reinigung von Oberflächen; - Materialkenngrößen; - Bezüge auf die wechselseitigen Bindungskräfte oder Entstehungsprozesse, die üblicherweise zeitabhängig und prozessabhängig sind; - Auswahl und Anwendung statistischer Bewertungs- und Prüfverfahren; - weitere Kenngrößen von Partikeln, wie zum Beispiel elektrostatische Ladung, Ionenladungen und mikrobiologischer Zustand.

Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3365426
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt DIN EN ISO 14644-9:2012-12 .

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN ISO 14644-9:2012-12 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) der Begriff "Klasse" (Klassifizierung, klassifiziert) wurde in "Stufe" (bzw. "Bewertung") geändert, wo angebracht; b) ISO 14644-6 wurde aus dem Einleitungstext von Abschnitt 3 und folglich auch aus Abschnitt 2 entfernt; c) Begriff 3.8 wurde aus Abschnitt 3 entfernt; d) ISO 4287 und ISO 4288 wurden durch ISO 21920-2 und ISO 21920-3 entsprechend ersetzt; e) ISO 16232-2, ISO 16232-3, ISO 16232-4 und ISO 16232-5 wurden durch ISO 16232 ersetzt; f) geringfügige redaktionelle Änderungen.

Dokumentenhistorie
AKTUELL
2022-10 - 2022-10

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