DIN ISO 14707:2018-02

Die optische Glimmentladungs-Emissionsspektrometrie (GD-OES) wird zur Bestimmung der Elementzusammensetzung von Feststoffproben angewendet. GD-OES kann entweder für die Volumen- oder Tiefenprofilanalyse angewendet werden. Bei der Volumenanalyse können Änderungen in der Elementzusammensetzung mit der Tiefe als vernachlässigbar angenommen werden. Im Gegensatz dazu dient die Tiefenprofilanalyse hauptsächlich der Ermittlung von Daten bezüglich derartiger Änderungen der Zusammensetzung. Die für die Tiefenprofilanalyse mittels GD-OES zugänglichen Schichtdicken liegen im Bereich von einigen Nanometer bis etwa einhundert Mikrometer. Es wird ein Mittelwert der Konzentration innerhalb des Kraters erhalten, und die laterale Auflösung der GD-OES entspricht daher dem Innendurchmesser der Anode. Wie bei jedem Verfahren der instrumentellen Analytik hängt die Qualität der GD-OES-Analyse deutlich von der Optimierung und dem Betrieb der Messgeräte ab. Diese internationale Norm enthält anzuwendende praktische Anleitungen, um sicherzustellen, dass die GD-OES-Analysen von höchstmöglicher Qualität sind. Das zuständige deutsche Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-16 "Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie" im Normenausschuss Materialprüfung (NMP).