ISO 16413:2013-02

Bestimmung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite von Dünnschichten durch Röntgenreflektometrie - Geräteanforderungen, Einstellung und Positionierung, Datensammlung, Datenanalyse und Berichterstattung

Englischer Titel: Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry - Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
Ausgabedatum: 2013-02
Originalsprachen: Englisch
Seiten: 30

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