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Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung

Englischer Titel
Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres
Ausgabedatum
2019-01
Originalsprachen
Englisch
Seiten
53

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ICS
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