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Norm 2016-06-25

NF C96-050-26:2016-06-25;NF EN 62047-26:2016-06-25

NF EN 62047-26:2016-06-25

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: description and measurement methods for micro trench and needle structures
Ausgabedatum
2016-06-25
Originalsprachen
Französisch

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