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Norm 2006-03-01

OENORM EN ISO 14644-3:2006-03-01

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren (ISO 14644-3:2005)

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2005)
Ausgabedatum
2006-03-01
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch

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Kurzreferat
Diese Internationale Norm legt die Messtechnik und die Prüfverfahren fest, die kennzeichnend sind für die Leistung von Reinräumen (turbulenzarme Verdrängungsströmung oder turbulente Mischlüftung) und Reinen Bereichen in drei verschiedenen Betriebszuständen. Diese Messmethoden empfehlen die Anforderungen an Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung der Leistungsparameter. Alternative Verfahren werden für die Messmethoden definiert, die vom Reinraumtyp beeinflusst werden. Für einige Prüfungen werden verschiedene Methoden und Geräte empfohlen. Die Prüfmethoden können auch für die Requalifizierung oder periodische Überwachung der Leistung eingesetzt werden. Messungen an Produkten oder Prozessen in Reinräumen werden nicht betrachtet.
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