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Norm [AKTUELL]

OEVE/OENORM EN 62047-14:2012-11-01

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe (IEC 62047-14:2012) (deutsche Fassung)

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012) (german version)
Ausgabedatum
2012-11-01
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
20

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