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Norm 2010-03

SN EN 62047-6:2010-03

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht- Werkstoffen

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
Ausgabedatum
2010-03
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Deutsch

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