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PAS 1022:2004-02

Referenzverfahren zur Bestimmung von optischen und dielektrischen Materialeigenschaften sowie der Schichtdicke dünner Schichten mittels Ellipsometrie

Englischer Titel
Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry
Ausgabedatum
2004-02
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
17
Verfahren
PAS
Hinweis
Der Regelsetzer empfiehlt die Anwendung von DIN 50989-1:2018-03 .

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Deutsch, Englisch
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17
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