Wir sind telefonisch für Sie erreichbar!

Montag bis Donnerstag von 08:00 bis 17:00 Uhr

Freitag von 08:00 bis 16:00 Uhr

Kundenservice National
Telefon +49 30 2601-1331
Fax +49 30 2601-1260

Technische Regel 2009-01

VDI 2083 Blatt 13.2:2009-01

Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen

Englischer Titel
Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Microelectronics and other technical applications
Ausgabedatum
2009-01
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch, Englisch

Bitte Treffen Sie Ihre Auswahl

ab 119,20 EUR inkl. MwSt.

ab 100,17 EUR exkl. MwSt.

Kaufoptionen

PDF-Download
  • 119,20 EUR

Versand (3-5 Werktage)
  • 119,20 EUR

Abo 1
1

Erfahren Sie mehr zu Abonnements-Lösungen für Normen

Ausgabedatum
2009-01
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch, Englisch

Schnelle Zustellung per Download oder Versand

Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung

Kurzreferat
Zweck dieser Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bezüglich der Planung, dem Bau, dem Betrieb und der Überwachung von Wasseraufbereitungsanlagen zur Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser. Diese Richtlinie gilt für die Qualitätsanforderungen, die Erzeugung und die Versorgung mit Reinstwasser von Prozessen mit hohen Reinheitsanforderungen, wie sie in der Reinraumtechnik verwendet werden. In der Kraftwerkstechnik und Kernkraftwerkstechnik werden ähnliche Prozesse und Systeme verwendet, diese sind aber nicht Gegenstand dieser Richtlinie, da sie an anderer Stelle beschrieben werden. Das Reinstwasser wird in verschiedenen Anwendungen genutzt einerseits für Reinigungsprozesse und andererseits zur Verdünnung von konzentrierten Reinstchemikalien auf Gebrauchslösungskonzentrationen, oder es geht in das herzustellende Produkt über. So werden z. B. kontaminierte Oberflächen vor der Durchführung sensibler Arbeitsprozesse mit Reinstwasser gereinigt. An das hierzu eingesetzte Reinstwasser werden hohe Anforderungen bezüglich partikulärer, chemischer und biologischer Reinheit bei der Anwendung gestellt. Im Anwendungsbereich der technischen Anwendungen, insbesondere der Mikroelektronik/ Halbleitertechnik, liegt der Schwerpunkt, bedingt durch die Verkleinerung der Strukturen, auf der Entfernung möglichst aller partikulären, chemischen und biologischen Kontaminationen. Die zur Anwendung kommenden Reinstwassersysteme strukturieren sich in: Aufbereitung einschließlich Vorbehandlung Speicherung und Verteilung Nutzung einschließlich Qualitätsmonitoring Die für die Reinstwasseraufbereitung notwendigen Verfahrensschritte und somit der Systemaufbau werden bestimmt aus der vorliegenden, durch örtliche Gegebenheiten geprägten Rohwasseranalyse und aus der im konkreten Anwendungsfall vorgegebenen Reinstwasserzielanalyse. Umwelttechnische Rahmenbedingungen, z. B. die Forderung nach einem verminderten Chemikalieneinsatz sowie die ortsspezifischen Kosten für Wasser und andere Betriebskosten, beeinflussen ebenfalls die Auswahl der einzelnen Verfahrensschritte. Die Speicherung und Verteilung wird bestimmt durch die örtlichen Aufstellungsgegebenheiten und den anzuschließenden Nutzungseinheiten. Allgemein gilt, dass aus einer Vielfalt von Lösungsmöglichkeiten eine wirtschaftliche Lösung erarbeitet werden muss.
Inhaltsverzeichnis
Auch enthalten in
Lade Empfehlungen...
Lade Empfehlungen...