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Technische Regel [AKTUELL]

VDI 2083 Blatt 3:2022-08

Reinraumtechnik - Messtechnik

Englischer Titel
Cleanroom technology - Metrology
Ausgabedatum
2022-08
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
71

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Kurzreferat
In dieser Richtlinie werden Messverfahren für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche beschrieben, die bei der Übergabe, im Rahmen der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt werden. Die in der Richtlinie beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet. Die Richtlinie gilt für erstmalige und einmalige Messungen sowie die fortlaufende oder periodische Überwachung. (Kontinuierliche Messungen zum Zweck des Monitorings werden in VDI 2083 Blatt 3.1 beschrieben.) Die spezifizierten Methoden sind für die Übergabe von reinraumtechnischen Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen und sollen, soweit möglich, anwenderspezifische Verfahren ersetzen.
Über dieses Produkt

Messgeräte, Messunsicherheit, verfügbare Verfahren, Durchführung und Dokumentation von Messungen in Reinräumen

Halbleiterproduktion, Operationssäle oder Biotechnologie – in einer ganzen Reihe von Anwendungsbereichen sind Reinräume notwendig und/oder gesetzlich vorgeschrieben. Schon kleinste Verunreinigungen können Menschen gefährden oder in sensiblen Arealen schwere Schäden hervorrufen. Daher ist es notwendig, die Reinräume nicht nur entsprechend auszulegen, sondern auch regelmäßig zu überprüfen. Dies erfolgt durch adäquate Messungen. Die Normenreihe DIN EN ISO 14644 „Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche“ enthält die Festlegungen und Verfahren, die für Reinräume und Reinraumbereiche gelten, die Richtlinienreihe VDI 2083 soll diese Normen ergänzen und handlungsrelevant konkretisieren. Die Blätter sollen Auftraggebern und Auftragnehmern einen Rahmen für die Spezifikation und Durchführung von Messungen geben. Die in dieser Richtlinie definierten Spezifikationen können bei Bedarf um anwendungsspezifische Faktoren erweitert werden. Anwendbar ist die Richtlinie sowohl bei der erstmaligen Messung von Reinräumen nach deren Erstellung als auch bei einmaligen oder wiederkehrenden Prüfungen im Rahmen des Reinraumbetriebs.
 

Verwendung der Richtlinie

VDI 2083 Blatt 3 enthält die Beschreibung der Messverfahren für Reinräume und Reinraumbereiche. Es werden die Verfahren für das Messen der Luftqualität dargestellt. Ferner werden die benötigten Messgeräte benannt. Die Richtlinie ist sowohl anwendbar bei der Ersteinrichtung von Reinräumen als auch bei der periodischen oder anlassbezogenen Überprüfung der Luftkontamination.

Mit den hier beschriebenen Verfahren können die Anzahl und Größe von luftgetragenen Partikeln ermittelt werden. Weitere Aussagen über die Beschaffenheit der Partikel sind mittels dieser Richtlinie nicht zu treffen. Auch mikrobiologische Untersuchungen sind nicht Gegenstand dieser Richtlinie.

Die Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 zeigt Messverfahren für die Prüfung von Luftfiltern auf, sowie für die Prüfung der Dichtheit von abgeschlossenen Reinraumbereichen und der Druckdifferenz zwischen Räumen. Es werden Methoden der Bestimmung der Erholzeit, der Temperatur und der relativen Feuchte erläutert und weitere Prüfungsmöglichkeiten vorgestellt.

Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 beinhaltet die Anforderungen an das Messprotokoll und Angaben zu Messgeräten und Messunsicherheit und führt beispielhaft durch ein Referenzverfahren.


Aus dem Inhalt

  • Anwendungsbereich
  • Normative Verweise
  • Begriffe
  • Abkürzungen
  • Mess- und Prüfverfahren – Übersicht
  • Durchführung der Messungen und Prüfungen
  • Dokumentation und Mindestanforderungen an das Messprotokoll
  • Anhang A: Messgeräte und Messunsicherheit
  • Anhang B: Referenzverfahren zur Bestimmung der Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt VDI 2083 Blatt 3:2005-07 .

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