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Technische Regel [AKTUELL]

VDI 2083 Blatt 7:2015-10

Reinraumtechnik - Reinstmedien - Qualität, Bereitstellung, Verteilung

Englischer Titel
Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution
Ausgabedatum
2015-10
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
76

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Kurzreferat
Die Richtlinie befasst sich mit der Spezifikation von Reinstmedien (Dampf, Gasen und Chemikalien) für Prozesse in der Reinraumtechnik sowie mit den Verteilsystemen für solche Medien. Die Richtlinie bietet eine Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb und Überwachung von Reinstmedien-Versorgungssystemen, und unterstützt Planer, Systemlieferanten und Betreiber in ihrer Arbeit. Sie ist vorgesehen als Ersatz für VDI 2083 Blatt 7 und Blatt 10.
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk
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