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Technische Regel [ZURÜCKGEZOGEN] 2000-01

VDI 2083 Blatt 7:2000-01

Reinraumtechnik - Reinheit von Prozeßmedien

Englischer Titel
Cleanroom technology - Cleanliness of process media
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Kurzreferat
Das Dokument enthält eine Klassifizierung der Reinheit von Prozeßmedien. Über die Reinheit flüssiger und gasförmiger Medien hinaus ist diese Klassifizierung sinngemäß auch auf komplette Systeme, d.h. unter Einbeziehung der Partikelfreisetzung von Anlagen anzuwenden. Für die Qualifizierung der Partikelreinheit beschreibt die Richtlinie standardisierbare Meßverfahren, und gibt Hinweise zur Sicherung der geforderten Reinheitsbedingungen. Die Anwendung dieser Meßtechniken wird für die Überprüfung von Anlagen für die Prozeßmedienversorgung (siehe auch Blätter 8 und 10 dieser Richtlinie) sowie für die Prüfung von Handelsprodukten erläutert. Im Hinblick auf die Absicherung der Partikelreinheit von Prozeßmedien am Gebrauchspunkt weden Aspekte der Mikrofiltration behandelt.
Inhaltsverzeichnis
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