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Technische Regel [AKTUELL]

VDI 2083 Blatt 9.1:2021-01

Reinraumtechnik - Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit

Englischer Titel
Cleanroom technology - Compatibility with required cleanliness and surface cleanliness
Ausgabedatum
2021-01
Originalsprachen
Deutsch, Englisch

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Kurzreferat
Diese Richtlinie gibt Hinweise zum Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der Reinheitstauglichkeit von Betriebsmitteln und RLT-Komponenten. Die Reinheit kontrollierter Bereiche ist kein Selbstzweck, sondern dient der Erreichung einer spezifizierten Produktqualität. Anforderungen, Verfahren und Nachweismethoden hängen daher ab von der konkreten Nutzung des Reinraums und den zulässigen Kontaminationen. Inhalt der Richtlinie ist eine standardisierte Vorgehensweise zur Qualifizierung von Betriebsmitteln und RLT-Komponenten für reinheitstechnische Bereiche.
Über dieses Produkt

Definition, Klassifizierung und Messung von Reinraumtauglichkeit und Oberflächenreinheit

Betriebsmittel und raumlufttechnische Komponenten in Reinräumen müssen besonderen Anforderungen genügen. Es muss sichergestellt werden, dass durch diese Objekte keine unzulässigen Verunreinigungen in den Raum eingebracht werden, weder bei ihrer Inbetriebnahme, noch über ihre restliche Nutzungsdauer im Reinraum: Sie müssen Reinraumtauglichkeit vorweisen können. Dabei ist es sinnvoll, die Reinheitstauglichkeit von Komponenten bereits in der Konzeption zu berücksichtigen, da ein späterer Austausch oft mit erheblichem Aufwand und entsprechenden Kosten und Störungen im Arbeitsablauf verbunden ist. Die Beurteilung der Reinheitstauglichkeit ist ein ganzheitlicher Prüfvorgang, der auch die Analyse vorhergehender Produktionsschritte beinhaltet und eine Form der Endkontrolle darstellt. Es ist notwendig, die Zielsetzungen der Prüfung festzulegen, das heißt, die erforderlichen Betriebsparameter des Prüfobjekts mit den spezifischen Arbeitsschritten, an denen Emissionen und Verunreinigungen entstehen können. Ferner sind für ein valides Testergebnis die Umgebungsbedingungen zu beachten, und nicht zuletzt die verfügbare Messtechnik selbst. VDI 2083 Blatt 9.1 benennt die Grundlagen, Schritte und Parameter der Reinheitstauglichkeit und deren Kontrolle. Die Richtlinie enthält keine Angaben zu Prozessmedien; diese finden sich in den Blättern 7, 9, 13.1, 13.2 und 13.3 der Richtlinienreihe.

Anwendungsbereich

Anwendungsbereich der VDI-Richtlinie 2083 Blatt 9.1 ist die Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln, raumlufttechnischen Komponenten und die Oberflächenreinheit. Diese Richtlinie behandelt partikuläre Verunreinigungen.

VDI 2083 Blatt 9.1 bietet: Die Definition der Reinheitstauglichkeit – die Klassifizierung der Reinheitstauglichkeit – das Vorgehen zur Eignungsfeststellung zum Einsatz von Betriebsmitteln und raumlufttechnischen Komponenten in Reinräumen. VDI-Richtlinie 2083 Blatt 9.1 enthält eine Beschreibung der Messmethoden zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit und der partikulären Oberflächenreinheit.

Die Richtlinie gibt Informationen zum Ausgasungsverhalten und zum elektrostatischen Verhalten.

Der Anwendungsbereich von VDI-Richtlinie 2083 Blatt 9.1 umfasst die Oberflächenreinheit und die Klassifizierung von Oberflächenreinheit.

VDI 2083 Blatt 9.1 behandelt keine radiologischen, chemischen oder biologischen Verunreinigungen.

Aus dem Inhalt

  • Anwendungsbereich
  • Normative Verweise
  • Begriffe
  • Klassifizierung
  • Anforderungen
  • Vorgehensweise zur Prüfung und Abnahme, Messtechnik
  • Anhang A: Beispiel zur Vorgehensweise zur Reduzierung der Anzahl von Messpunkten (Repräsentationsschluss)
  • Anhang B: Berechnungsbeispiel zur Ermittlung der aus den Messungen abgeleiteten Reinraumtauglichkeit
  • Anhang C: Methoden zur Bestimmung der Reinheitstauglichkeit
  • Anhang D: Indirekte Methode zur Bestimmung der Reinraumbelastung (Ganzheitsmethode)
  • Anhang E: Spezielle Prüfungen auf Oberflächenreinheit und Reinheitstauglichkeit bei den Baugewerken von Reinräumen
  • Schrifttum
Inhaltsverzeichnis
Änderungsvermerk

Diese Norm ersetzt VDI 2083 Blatt 9.1:2006-12 .

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