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Technische Regel 2006-12

VDI 2083 Blatt 9.1:2006-12

Reinraumtechnik - Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit

Englischer Titel
Clean room technology - Compatibility with required cleanliness and surface cleanliness
Ausgabedatum
2006-12
Originalsprachen
Deutsch, Englisch

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Kurzreferat
Diese Richtlinie dient zum Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheitstauglichkeit von Betriebsmitteln sowie raumlufttechnischen Komponenten in reinen Bereichen nach VDI 2083 Blatt 1. Das Dokument sich im Wesentlichen mit partikulären Verunreinigungen. Chemische (molekulare), biologische und radiologische Oberflächenverunreinigungen sind nicht spezifischer Gegenstand dieser Richtlinie; gleiches gilt für Prozessmedien. Diese Richtlinie beinhaltet die Definition der Reinheitstauglichkeit und darauf aufbauend die Klassifizierung, sowie die Vorgehensweisen zur Feststellung der Eignung von Betriebsmitteln und raumlufttechnischen Komponenten für den Einsatz in Räumen, deren Luftreinheit und andere Parameter durch Regelwerke beurteilt werden. Weiterhin werden die Ausgasungs- und elektrostatischen Eigenschaften von Betriebsmitteln und ihrer zughörigen reinlufttechnischen Komponenten in Reinräumen beschreiben. Ebenso sind die Oberflächenreinheit und deren Klassifizierung Inhalt dieser Richtlinie. Die Reinheitstauglichkeit eines Betriebsmittels beinhaltet alle prozessrelevanten Verunreinigungen. Die in dieser Richtlinie beschriebenen Messmethoden zur Beurteilung der Reinheitstauglichkeit von Betriebsmitteln umfasst die Reinraumtauglichkeit, die partikuläre Oberflächenreinheit, das Ausgasungsverhalten und das elektrostatische Verhalten. Diese Richtlinie ist auf Betriebsmittel, die in den Reinraum eingebracht werden, sowie auf raumlufttechnischen Komponenten anwendbar.
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