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Technische Regel [AKTUELL]

VDI/VDE 2655 Blatt 1.1:2008-03

Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung

Englischer Titel
Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement
Ausgabedatum
2008-03
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
39

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Kurzreferat
Die vorliegende Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.1 gilt für Interferenzmikroskope zur Messung der Topografie technischer Oberflächen. Die beschriebenen Prozeduren für die Kalibrierung sind vergleichbar zu den Methoden, die sich bereits bei den Richtlinien für die Rückführung von Tastschnittgeräten (siehe Bild 1) bewährt haben (DKD-R 4-2; EAL-G20). Entsprechend sind, so weit es möglich ist, auch die dort erprobten Normale (Planglas, optisches Gitter, Tiefeneinstellnormal, Raunormal) übernommen. Dieses Blatt der Richtlinienreihe beschränkt sich auf die Grundkalibrierung der Interferenzmikroskope. Diese schließt die Rückführung auf die Längeneinheit über die Messung an rückgeführten Tiefeneinstellnormalen ein. Dies entspricht dem rechten vertikalen Pfad in Bild 1. Aus diesen Messprozessen ergibt sich die Herleitung für die Messunsicherheitsberechnung der Gerätekalibierung und die der Messung an Tiefeneinstellnormalen. Die entsprechenden Prozeduren für Rauheitskenngrößen werden in Blatt 2.1 beschrieben werden. Mit der Anwendung dieser Richtlinie werden folgende Ziele verfolgt: Bessere Vergleichbarkeit von Oberflächenmessungen mit verschiedenen Mikroskopen sowie zwischen Mikroskopen und Tastschnittgeräten mit den Normen und Richtlinien sowie Normalen für Tastschnittgeräte Festlegung von Bedingungen für die Rückführung auf die Längeneinheit entsprechend Bild 1 Feststellung der Kalibrierfähigkeit und Festlegung des Gültigkeitsbereiches einer Kalibrierung Festlegung von Mindestanforderungen an den Kalibriervorgang und an Abnahmebedingungen Bereitstellung eines GUM-konformen Modells zur Messunsicherheitsberechnung des Messvorganges mit einem Interferenzmikroskop Festlegung der Anforderungen an einen Ergebnisbericht.
Inhaltsverzeichnis
ICS
17.180.01, 37.020
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