VDI/VDE 2656 Blatt 1:2008-06

Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen

Englischer Titel: Determination of geometrical quantities by using of Scanning Probe Microscopes - Calibration of measurement systems
Ausgabedatum: 2008-06
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 82

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Kurzreferat

Diese Richtlinie ist beschränkt auf Rastersondenmikroskope und deren Kalibrierung. Ein Rastersondenmikroskop ist ein seriell arbeitendes Messgerät, das mit einer entsprechend feinen Sonde die Oberfläche des Messobjekts unter Ausnutzung einer lokalen physikalischen Wechselwirkung (wie dem quantenmechanischen Tunneleffekt, zwischenatomaren bzw. -molekularen Kräften, evaneszenten Moden des elektromagnetischen Feldes) nachfährt, wobei Sonde und Messobjekt nach einem zuvor festgelegten Schema in einer Ebene (nachfolgend x-y-Ebene genannt) relativ zueinander bewegt werden, während das Signal der Wechselwirkung aufgezeichnet wird und für die Regelung des Abstands zwischen Sonde und Messobjekt verwendet werden kann. In dieser Richtlinie werden solche Signale betrachtet, die zur Topografie-Bestimmung genutzt werden (nachfolgend "z-Signa" genannt).

Inhaltsverzeichnis

ICS

17.040.01, 19.060

Ersatzvermerk

Dokument wurde ersetzt durch VDI/VDE 2656 Blatt 1:2019-09 .

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